在微電子封裝領域,集成電路(IC)內部連接線的可靠性直接決定了芯片的壽命與性能。其中,鍵合鋁線作為連接芯片焊盤與外部引線框架的“生命線",其焊接強度至關重要。如何精確、高效地評估鋁線鍵合點的質量,成為封裝測試環節重要的一步。
IC鋁線拉力測試正是解決這一問題的關鍵工藝監控手段。通過測量將鋁線從鍵合點拉斷所需的力量,我們可以定量分析鍵合工藝的穩定性、線材的機械性能以及是否存在潛在的失效風險。本文科準測控小編將深入淺出地介紹鋁線拉力測試的基本原理、遵循的國際標準,并重點結合我司Beta S100推拉力測試儀,詳細闡述其測試流程與操作要點,為有需要的朋友提供一份實用的技術參考。
一、 測試原理
IC鋁線拉力測試的基本原理是機械拉伸破壞性試驗。
測試時,使用一個精密的微型鉤針,小心地伸入待測鋁線的弧線下方。測試儀驅動鉤針以恒定的速度向上運動,對鋁線施加一個垂直向上的拉力。這個拉力通過鋁線傳遞至兩端的鍵合點(芯片上的第一焊點和引線框架上的第二焊點)。隨著拉力持續增大,鋁線或鍵合點會因應力集中而在最薄弱處發生斷裂。
測試儀器會實時記錄整個拉伸過程中的力值變化,并精確捕捉到斷裂瞬間的峰值力,即拉力強度值。通過分析斷裂力的大小以及斷裂位置(是線材本身斷裂、鍵合點脫落還是金屬層被拉起),可以綜合判斷鍵合質量的好壞。
二、 測試標準
MIL-STD-883 Method 2011.7: 《邦接線拉力測試》
此標準是微電子器件測試領域的權wei規范,詳細規定了測試方法、設備要求、取樣規則和驗收標準。
它對不同線徑的鋁線規定了zui低拉力強度要求。例如,對于直徑為1.0 mil(約25.4 μm)的鋁線,其平均拉力強度通常需滿足不低于一定數值(如3.0 gf)的要求,且單個zui低值不能低于該數值的特定百分比。
三、 測試儀器
1、 Beta S100推拉力測試儀
該儀器是專為微電子引線鍵合強度測試設計的高精度設備,具備以下特點:
高精度力值傳感: 采用高分辨率傳感器,量程覆蓋廣,可精確測量從厘牛(cN)到幾十牛頓(N)的力,輕松滿足細鋁線的測試需求。
高穩定性與重復性: 精密的機械結構和運動控制系統確保了測試過程中速度平穩、定位精準,測試結果重復性高。
人性化操作界面: 配備觸摸屏和直觀的軟件,方便用戶設置參數、執行測試并實時觀察力-位移曲線。
強大的數據分析功能: 自動記錄、計算和統計測試數據,如最大值、最小值、平均值、標準差等,并可生成詳細的測試報告。
模塊化測試工具: 提供一系列不同尺寸和形狀的鉤針,以適應不同弧高和線徑的鋁線測試。
四、 測試流程(以Beta S100為例)
1、準備工作
設備開機: 啟動Beta S100測試儀及配套軟件,預熱一段時間使系統穩定。
夾具安裝: 將待測的IC器件牢固地固定在測試平臺的夾具上,確保其水平且無松動。
鉤針選擇與安裝: 根據鋁線的直徑和弧高,選擇合適的鉤針(通常鉤針頂端半徑應為線徑的2-3倍),并將其安裝在測力傳感器上。
參數設置: 在軟件中設置測試參數,包括:
測試速度: 根據標準(如MIL-STD-883建議0.1-1.0 mm/s)設定鉤針上升速度。
目標測點: 規劃需要測試的鋁線編號。
力值量程: 選擇適合鋁線拉力范圍的量程,以保證最佳測試精度。
2、對位與測試
視覺對位: 利用儀器配備的顯微鏡或CCD攝像頭,移動測試平臺或鉤針,使鉤針精確地位于待測鋁線的正下方,并確保鉤針與鋁線無接觸。
提升鉤針: 緩慢垂直提升鉤針,使其輕輕鉤住鋁線弧線的中點,且不觸碰芯片或引線框架等其他結構。
執行測試: 在軟件上啟動測試。鉤針將以預設速度勻速向上運動,對鋁線施加拉力。
自動記錄: 儀器自動記錄拉力-時間/位移曲線,并捕捉斷裂峰值力。
3、結果分析與后續
數據記錄: 軟件自動保存該次測試的峰值力值和斷裂位置信息。
失效模式分析: 觀察斷裂位置,常見的模式有:
頸縮斷裂: 斷裂在弧線中間,線材呈延性斷裂,通常表明鍵合點強度良好。
焊盤抬起: 鍵合點從芯片焊盤上脫落,可能涉及鍵合參數或焊盤清潔度問題。
界面斷裂: 鍵合點仍在,但下方的金屬化層被拉起,屬于較嚴重的失效。
重復測試: 移動至下一條待測鋁線,重復步驟2和3,直至完成所有計劃樣本的測試。
生成報告: 測試結束后,使用軟件的數據分析功能,計算整批數據的統計值,并與標準進行比對,生成最終的測試報告。
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